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nfarl半導體在抗反射塗層(光刻中所用的抗反射塗層) - 中文百科全書的討論與評價
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nfarl半導體在多层式抗反射层以及采用该多层式抗反射层的半导体制程的討論與評價
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15、何為BARC?何為TARC?,底層抗反射層(BARC):抗反射層塗於光阻之下, 晶圓之上,可以強烈吸收 ...
nfarl半導體在BARC coating、ard半導體、barc材料在PTT/mobile01評價與 ...的討論與評價
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nfarl半導體在旋轉塗佈硬質罩幕材料與製程表現之研究__臺灣博碩士論文知識 ...的討論與評價
透過各種參數之調控,此製程顯示出抗反射之特性,因此可以省去額外之底面抗反射塗層(BARC),使得製程簡化為 ... 系所名稱: 工學院碩士在職專班半導體材料與製程設備組.