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在積體電路的製程中，利用光阻覆蓋機產生旋轉塗佈後的光阻液薄膜，決定了晶片電路曝光及顯影品質的優劣，也關係到整個積體電路的成敗。在晶圓表面上所形成的薄膜（厚度 ...

塗佈應用. ○ 光阻塗佈(半導體、平面顯示、觸控). ○ 光學膜塗佈(增亮、抗炫、抗反射) ... 旋轉塗佈. Spin Coating. 旋轉塗佈為利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗.

本技術論文主要以減少光阻的浪費率及成本支出，但在研究構想中會因減量塗佈而產生的不穩定手指狀、塗佈不完整的鋸齒狀及膜厚度不均勻的色差現象，製程中採用稀釋 ...

在光阻製程部份，實驗結果顯示，先軟烤再洗邊可. 以大幅提升塗佈厚度的均勻度，並且在塗佈厚度為100μm 時，增加軟烤95℃時間至30. 分鐘，可使光阻不會沾黏在光罩上。

而光阻旋轉塗佈後的厚度、均勻度、軟烤時. 間及溫度、曝光及顯影條件等，都會直接影響關鍵尺寸(CD,Critical Dimension)解. 析度。在微影製程中眾多的因子影響關鍵尺寸解析 ...

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流場特性，如摩擦因子、內壁的表面粗糙度及對流熱傳係數。微管的 ... 但可藉由基板支撐架的旋轉改善。 ... 圖2-14 顯示光阻塗佈的情形，而實際所得之光阻厚度與轉速的.

科目所學到的物理觀念，實際應用在做實驗方面，與如何將所量測的. 數據做結果分析，才能順利完成此篇 ... 心力原理，使光阻能夠均勻塗佈在樣品上，此厚度約為2~3 µm。

光所需之能量小、厚度均勻度佳與製程快速等特性，常被使用於PCB 印刷電路板等製. 程。乾膜光阻塗佈方式與濕式光阻不同，利用貼合的方式將光阻貼合於基材上，現今.

就是在於其為了降低操作電壓，此i-layer的厚度不能太厚，然而薄的 ... 具有平坦化的效用，不過由於BCB類似光阻液是以旋轉塗佈的方式去.