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階梯覆蓋 （STEP COVERAGE) 似型性(CONFORMITY) ... TEOS及矽烷之階梯覆蓋 ... 需要好的階梯覆蓋、高沈積速率、良好的似型. 性及應力控制. 10. 介電質抗反射層鍍膜.
階梯覆蓋定義在半導體製程技術 - 聯合大學的討論與評價
更精確的定義: 電漿就是有著帶電與中性粒子之準中. 性的氣體，電漿本身就是這些例子的集體行為 ... 階梯覆蓋. ▫ 對沉積薄膜在基片表面再產生之階梯的斜率所做的一種.
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階梯覆蓋定義在階梯覆蓋率定義 - 軟體兄弟的討論與評價
優異的純度及均. 勻性、階梯覆蓋. 佳及大的晶圓產. 能。 高溫、低沈積速. 率、須更強的維護. 及真空系統。 高溫氧化矽(摻雜 ... ,階梯覆蓋. ... 一種對於沉積薄膜在基片表面 ...
階梯覆蓋定義在原子層沉積系統原理及其應用的討論與評價
100% 的階梯覆蓋、精準的薄膜厚度控制、大面積薄膜的均勻性、優異的製程穩定度與低溫. 的製程。這些傑出的能力可歸功於跟 ... 之關係圖，在此可定義：當電流密度到達10.
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好的階梯覆蓋(step coverage)能力 ... 定義：壓力接近常壓下進行CVD反應的一種沉積方式。 ... ◇LPCVD法來沉積的薄膜，將具備較佳的階梯覆蓋能力。且.
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原子層沈積技術藉由表面一層一層成長的獨特機制，具有高度均勻性、精準厚度控制、高階梯覆蓋率等特性，克服傳統製程技術所遭遇的困難。 余友軒/助理工程師.
階梯覆蓋定義在工學院半導體材料與製程設備學程碩士論文的討論與評價
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階梯覆蓋定義在半導體製程@ 這是我的部落格 - 隨意窩的討論與評價
所以溼氧化用於成長較厚的氧化層如遮蔽氧化層、整面全區覆蓋式氧化層和LOCOS ... 金屬化學氣相沉積(CVD) CVD金屬薄膜有非常好的階梯覆蓋和間隙填充 ...