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dry pump構造在第二章實驗儀器操作與原理- 2.1 真空系統的討論與評價

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    dry pump構造在Vacuum pumps 真空幫浦的討論與評價

    Scroll pump 迴轉幫浦. Page 4. 4. Chin-Chung Yu. Dry. Shorter maintenance interval (5000 hrs). Poorer corrosive resistance. Ultimate pressure: 5x10-3 Torr.

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